在现在的复杂集成电路中,用来保证质量的集成电路测试占制造成本的近一半。多年来,集成电路的市场增长和技术进步推动了测试的发展。在量产测试中,一般采用自动化测试设备进行测试。频率测试作为芯片测试的一个重要组成部分,受到了测试工程师们的广泛关注。由于集成电路信号频率的提高以及对测试精度的严格要求,传统的频率测试方法在自动化测试设备上往往不能满足要求,最常见的是非周期性截断导致的频谱泄露和测试设备频率不够导致的欠采样问题。因此,在ATE测试中研究频谱泄露和欠采样问题的解决方案具有十分重要的意义。本文首先介绍了集成电路测试的本质和意义、国内外ATE的发展现状以及ATE测试面临的挑战。其次,本文对V93000系统架构、硬件和软件进行了介绍,并研究了频率的基本原理,分析其在ATE中实现的可行性。最后,本文利用加窗插值方法和等效采样方法相关技术,对频率测试中的频谱泄露和欠采样问题进行解决方法研究并在V93000上实现。本文的主要工作如下:第一,针对频率测试中存在的频谱泄露问题,本文研究了各种常用窗函数的特性,并选取合适的窗函数,推导出频率、幅度、相位的插值公式,最终基于Advantest的V93000机台设计了机台内循环验证方案,对200KHz～54MHz范围内（以100KHz为间隔）的幅值为1.0V的信号进行测试,信号的信噪比为48d B,采样频率为110MHz。实验结果显示,除直流分量和奈奎斯特频带附近外,内循环验证的测试结果的频率误差近似为±60Hz,振幅误差近似为±0.0006V,相位误差在±0.002rad。结果证明应用加窗插值算法后的误差为直接FFT方法的0.1%,可以在实际的芯片量产测试中进行应用。第二,针对硬件频率不够所产生的高频信号的欠采样问题,本文研究了传统的等效采样方法的实现方式,分析了其在ATE设备上不适用的原因。因此,本文设计了一种基于ATE的新型等效采样解决方法。此方法的测试对象为应用扩频时钟信号技术的SERDES芯片。本文分析了扩频时钟信号的原理,在V93000机台上开发了应用这种新型等效采样的测试方案并测试成功。测试结果与理论推导一致,符合100ppm的精度要求和预期测试时间要求。结果表明,在实际的芯片量产中应用了这种测试方法后,可以使SSC具有良好的稳定性和准确性,对不同协议的SSC频率测试有一定的借鉴意义。