单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器的研究

被引量 : 0次 | 上传用户:zhangrong825
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
流量一直是生产和科研领域重要的测量参数,它的测量对流体系统的控制有着重要的意义。随着微机械加工工艺的进步,微型流量传感器的发展也受到越来越多的关注。它们尺寸小、功耗低,并且可以精确测得非常微小的流速(微升/分钟)。流量传感器的工作原理几乎涉及到了物理学的各个领域,大体可分为热学原理和非热学原理两类。对于基于热学原理工作的微型流量传感器,器件自身的加热会引起很严重的问题。尤其在生物或化学这两个微型流量传感器最常应用的领域,很多试剂对温度非常敏感,这极大地限制了它们的应用。在非热学原理的流量传感器中,压差检测原理是应用最广泛的一种,尤其是对于流体流量的检测。压差式流量传感器拥有制作简单、线性度好和信号处理容易等优点,因此本课题重点研究压差式微型流量传感器。传统的压差式微型流量传感器均为双层结构,通过将一片表面已经刻蚀出凹槽的硅片与另一片硅片或玻璃键合形成完整的沟道和压力传感器腔体。键合工艺复杂且容易产生偏差,使得产品良率降低、成本增加。传统的表面硅微机械加工工艺能够实现单面集成的微型流量传感器的制作,但其沟道通过腐蚀牺牲层形成,尺寸受沉积工艺的限制,高度最多只能达到几个微米,因此适合检测气体但是不适合检测液体。本课题提出了一种单芯片单面硅微机械加工的压差式微型流量传感器。该传感器只对单片硅片的正面进行加工,并利用表面贴装技术进行封装,既在简化工艺的同时降低了成本,又使其能很好地与处理电路或其它检测系统集成,因此有着广阔的应用前景。文章详细介绍了该单面硅微机械加工的流量传感器的工作原理、结构设计和工艺设计,并细致地描述了其制作工艺,给出了其性能参数。最后,文章对本课题的成绩和不足进行了客观的总结,对压差式微型流量传感器的发展做出了展望。
其他文献
在秘书的职业生涯中,拥有良好的人际交往十分重要。一个秘书的成功与否与其能否处理好人际交往息息相关。因此,秘书在不断扩充知识、提高办事能力的同时,必须处理好自己的人
截止2010年我国已建成小水电站45000座,装机容量5400多万千瓦,年发电量1600多亿千瓦时,约占中国水电装机和年发电量的30%。多年以来,通过开发小水电,全国1/2的地域、1/3的县
钢铁行业素来具有工业粮食之称,是国民经济发展的重要支柱性产业,其发展水平直接影响着其他相关产业的发展和其他行业相比,钢铁行业具有高投资高风险周期长影响大的特点,加之我
研究目的了解山西省妇幼保健机构人力资源配置现状;探讨各级妇幼保健机构人力资源管理各个环节存在的问题;进一步探索完善人力资源管理机制的途径,为建立一支规模适当、结构合理
管制员的人为错误是空中交通管制活动的必然组成部分,但对其信息处理过程的人为因素分析有助于从认知角度找出错误原因并加以改善。本文以人类信息处理的功能模型为基础,结合
<正>木结构建筑具有绿色环保、保温节能的特点,适用于任何气候环境,设计灵活,可展现形式丰富多样的建筑风格,因此,木材被公认为最美观大方、赏心悦目的建筑材料之一。木材是
本文分析了汽车造型、意象认知及造型语言的内容和涵义,并分别阐述了汽车造型意象认知和造型语言之间的关系,通过阅读国内外关于汽车造型意象认知及造型语言领域的相关文献,
作为对大学物理教材中玻尔原子模型的研究性学习,本文对中心引力场中的束缚粒子作出了类似的半经典分析。引力场中束缚粒子在不同能级间的跃迁将交换的一份一份的能量,称之为
随着公路交通量的日益增大,六车道连拱隧道开始大量修建,而六车道连拱隧道一方面在设计上具有开挖跨度大和断面扁平的特点,为大跨扁平连拱隧道;另一方面,在施工过程中,由于其
我国理论及实务界对于什么是会计原则、会计原则的内容体系应如何构建、会计原则与会计信息质量特征的关系如何界定等问题存在不同见解,影响会计规范体系的建立和健全。文章