随着现代工业的不断发展,液压技术在船舶领域得到了广泛应用。统计资料表明,75%的系统故障是由液压油污染引起的。因此,对液压油污染物的检测提出了更高的要求。对液压系统中的污染物进行准确的区分和检测,不仅维护船舶机械的稳定运行,而且对于液压系统的故障预防及诊断具有重要意义。本文研究了对置微平面线圈多参数阻抗检测传感器,并在检测原理、检测系统参数和检测芯片参数方面进行了研究。研究内容如下:(1)设计对置微平面线圈多参数阻抗检测传感器,介绍检测传感器的检测原理;采用COMSOL软件对检测芯片进行模拟仿真,确定检测芯片的微流道位置。(2)搭建基于对置微平面线圈多参数传感器的检测系统,设计实验,对多参数阻抗传感器芯片进行检测,对不同属性的检测物质进行电感参数和电容参数的检测和提取。(3)分析实验结果,研究检测系统激励电压对其检测结果的影响;研究检测芯片线圈线径及匝数对其检测性能的影响;研究污染物颗粒粒径与检测参数幅值之间的关系。本文中的检测传感器实现了液压油中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水和空气的集成区分检测,实验得出检测系统激励电压对检测结果的影响不大;检测芯片微平面线圈线径越小、匝数越多,传感器的检测性能越好;污染物颗粒通过阻抗传感器检测区域所引起的电感参数幅值或者电容参数幅值随着污染物颗粒粒径的增大而增大,这对于液压油污染物的集成检测具有重要意义。