【摘 要】
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该文在对国外激光干涉仪及其误差补偿的发展状况和趋势较全面了解和分析的基础上,通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差的补偿模型并设计了补偿系
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该文在对国外激光干涉仪及其误差补偿的发展状况和趋势较全面了解和分析的基础上,通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差的补偿模型并设计了补偿系统.主要研究内容和创造性工作有:设计了分别应用于环境条件好、小量程的双干涉自补偿系统和应用于大量程的计算机控制多点测量,综合修正的补偿系统对空气折射率进行修正.建立了基于多元线性回归与预报的补偿模型补偿被测件热膨胀误差.利用高灵敏度的灵敏元件,设计并制作了高精度的温度,压强和湿度传感器.通过对环境参数的检测并利用Edlen公式可实时获得测量环境的空气折射率,从而实现了环境补偿.应用MFC技术设计并制作了基于Windows平台的补偿系统软件.该论文对测量光路与传感器设计原理,环境误差补偿理论等进行了较全面的理论分析,为今后进一步发展该补偿系统打下了理论基础.
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