电液伺服阀是电液伺服控制系统的重要部件。它广泛应用于航天、航空、航海的航行控制,其性能直接影响整个系统的运动精度,因而在工业及武器系统中占有重要地位。电液伺服阀的功率级一般为滑阀副,起液压放大器的作用。滑阀副由阀芯、阀套两部分组成,是借两者的相对运动来改变阀口过流面积,以达到液流控制的目的,是伺服阀的核心零件,尺寸及形位公差要求极严,通常对阀套内孔的技术要求为圆柱度和直线度控制在0.001mm之内。阀套内孔细长,相贯孔多,形状公差测量困难,主要靠手工研磨及试装完成加工,无法采用通用的测量设备进行检测,造成加工周期大幅度延长。本文针对目前我国伺服滑阀副生产领域的现状,利用气动测量原理开发了阀套内孔形状误差自动化测量设备。本文首先引入了喷嘴挡板机构,并分析其特点;然后利用matlab工具,确定了测量系统的线性工作区,测量间隙;之后设计了测头及校对规,并为其配备了节流孔可调的差压式测量气路。依据相关的理论基础,本文制定了测量方案。根据测量方案中提出的技术要求,本文设计并制作了实验设备,包括设计并加工了机械运动机构和阀套专用夹具,气动测量气路的设计和搭建,选用仪表电路并制作了电控箱,设计并开发了控制及数据处理软件,并提出智能测量方法。最终利用设备进行实验,通过实验数据验证了设计的准确性。