随着光子集成相关理论及其相关制备技术的发展,光集成电路也正朝着更高集成度的方向发展,其中高集成度的含义是:更多的功能器件集成到单独一个芯片上,且光电子器件的尺寸足够小。表面等离子激元已经在纳米光子学领域成为了重要的组成部分,它是传导电子与电磁辐射相互作用形成的沿着介质与金属表面传播的电子疏密波。它既可以克服传统光学器件的衍射极限的限制,也可以减少由于金属吸收损耗造成的传播过程中的能量衰减。基于金属-介质-金属的表面等离子激元波导技术,多种光电子器件被设计成功,譬如:分光器、传感器、共振器等。本文提出由T型空腔和波导组成的四种金属-介质-金属(MIM)波导结构,为了探究这些波导结构的光学响应特性,本文使用COMSOL Multiphysics软件的有限元方法进行模拟仿真。首先,第一种波导结构是T型空腔正置于波导一侧,仿真结果出现了双重法诺共振现象并且共振波长可以通过改变T型腔长度和高度进行调节。该结构有助于设计成灵敏度达到1620nm/RIU、品质因数为5.4×10~4的纳米传感器。然后,将T型空腔倒置于波导一侧,仿真结果出现了多重法诺共振,且三个共振的敏感度互不相同,其中一个法诺共振与其他共振的调节方式相互独立,灵敏度为1560nm/RIU,品质因数为9.37×10~4,该结构有望应用于光束分路器。第三种波导结构是双T型空腔结构,仿真结果出现了更多的法诺共振,该结构为更复杂的光束分路器等功能提供了延伸。最后,对于嵌入式T型空腔结构,仿真结果出现单一法诺共振现象,且有望设计成新型的纳米传感器。