【摘 要】
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文章首先介绍了射频激励CO激光器二十多年的发展历史及研究现状.接着从原理入手,给出射频激励CO激光器放电理论模型及放电腔的等效阻抗计算方法,分析了射频激励频率对激光器工作特性的影响,并介绍了射频激励CO激光器功率控制原理.然后,以25W射频激励CO激光器为例,论述了射频电源各部分的设计方法,给出了采用新型高频大功率晶体管放大器模块及以微带线作为阻抗匹配网络的新型电源设计方案,并对采用该设计电源的射
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文章首先介绍了射频激励CO<,2>激光器二十多年的发展历史及研究现状.接着从原理入手,给出射频激励CO<,2>激光器放电理论模型及放电腔的等效阻抗计算方法,分析了射频激励频率对激光器工作特性的影响,并介绍了射频激励CO<,2>激光器功率控制原理.然后,以25W射频激励CO<,2>激光器为例,论述了射频电源各部分的设计方法,给出了采用新型高频大功率晶体管放大器模块及以微带线作为阻抗匹配网络的新型电源设计方案,并对采用该设计电源的射频CO<,2>激光器系统的输出功率、模式、发散角等参数进行了测量.该文分析了计算机对射频激励CO<,2>激光器进行控制所需要的接口功能,并给出了接口各模块的设计方法.该文还就射频激励CO<,2>激光器在加工中的应用需求,提出了激光在线标刻系统软件的设计方法,并对其基本算法和在线新特性进行了研究,给出了激光在线标刻软件基本算法类库结构.最后,介绍了基于上述设计方法实现的射频激励CO<,2>激光器加工系统在医药、电子、服装等行业的创新性应用.
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