适合SAW器件的BN/diamond多层膜的制备与研究

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【摘要】

：

声表面波(Surface acoustic wave,SAW)技术是一种新兴的高新技术,它是声学、电子学、光学相交叉的一门边缘学科。氮化硼((BN)是一种性能优异,极具发展潜力和广泛应用前景的新型宽带半导体材料。h-BN属于六方晶系,且具有高声波传输速率和优良的透光性,因此可作为SAW器件中合适的压电薄膜。据此提出由“h-BN/Diamond”形成的“压电薄膜/高声速薄膜”多层薄膜结构,来优化SA

【作者】

：

汪金文

【机构】

：

天津理工大学

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

不同衬底 SAW 射频磁控溅射氮化硼薄膜傅立叶变换红外光谱

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