新型多功能圆分度标准装置的设计与开发

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本文设计的新型多功能圆分度标准装置是以我国现行平面线角度计量基准的技术为基础,以满足目前角度计量所需的360°全周、动静态测量、微细步进角度定位测量的多功能高精度角度计量测量需要,可用于感应同步器、圆光栅、光电轴角度编码器、多面棱体等角度计量标准器动静态测量和刻制计量圆光栅、感应同步器等计量器具。本文首先介绍了圆分度标准装置关键部件圆光栅的莫尔条纹测量原理和测角系统的电子细分原理。然后阐述了高精度密珠轴系、基于FPGA的交流伺服电机控制器、基准光栅和指示光栅、多头读数装置等测角系统的硬件设计和控制软件开发;同时,本文阐述了圆感应同步器检测电路、圆光栅刻制装置的设计和开发。其次,本文对密珠轴系径向跳动量进行了测量和数据分析,采用全组合常角法实测了测角系统的圆分度误差,实测结果表明该新型多功能圆分度标准装置达到设计指标,满足使用要求。最后,本文还介绍了该装置用于测量感应同步器、光电轴角编码器及刻制圆光栅、基准圆光栅和复制圆光栅母版等应用。
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