【摘 要】
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硅微谐振式加速度计(Silicon Resonant Accelerometer,简称SRA)以其高精度、宽动态范围、低功耗和小尺寸等特点,广泛应用于军事及民用等领域,成为MEMS惯性传感器的研究热点之一。为了进一步改善SRA的性能,本文主要从谐振梁的非线性振动和谐振频率的温度特性出发,进行了以下研究：首先,对研制的SRA的工作机理展开了研究。研究了谐振器的工作原理,建立了一端固定一端弹性约束的谐
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硅微谐振式加速度计(Silicon Resonant Accelerometer,简称SRA)以其高精度、宽动态范围、低功耗和小尺寸等特点,广泛应用于军事及民用等领域,成为MEMS惯性传感器的研究热点之一。为了进一步改善SRA的性能,本文主要从谐振梁的非线性振动和谐振频率的温度特性出发,进行了以下研究：首先,对研制的SRA的工作机理展开了研究。研究了谐振器的工作原理,建立了一端固定一端弹性约束的谐振梁数学模型,推导了其振型方程和参数,确定了轴向力与谐振频率的关系,通过仿真和样机测试初步验证了
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本文是针对国家海洋标准计量中心要求的基准测试设备“验潮仪检定装置”项目进行的研究，该设备可对8.5米高、8吨水流量的动态水位进行控制与测量。系统通过计算机对水流速度的控制，使其在水罐内模拟全日潮或半日潮（正弦波）的水位变化。验潮仪检定装置测控系统的组成主要包括：升降机系统(包括长直导轨和伺服电机等)、CCD液位自动跟踪系统、进排水系统以及计算机自动控制系统等。设备运行中为了使CCD相机准确跟踪水位
加速度计是一种典型的惯性传感器。随着微机电系统(MEMS)的发展,MEMS加速度传感器越来越显示出它的重要性,在航空航天、武器装备、汽车、消费电子等方面有着广泛的应用与需求,尤其在冲击载荷测量、弹药引信等领域,对高过载高G(G为重力加速度)值加速度计提出了较高要求:上万至数十万G量程,且频率范围较宽,工作环境恶劣。因此,利用MEMS技术开发研究高精度、高量程、低功耗、低成本的微加速度计迫在眉睫。其
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本文研究了磁悬浮式加速度计悬浮体的超顺磁性及其设计方法。在实现磁悬浮式加速度计悬浮体的超顺磁性机理、磁力、纳米颗粒的分散方法等方面进行了研究。首先分析了实现磁悬浮式加速度计悬浮体超顺磁性的机理以及具有超顺磁性的磁悬浮式加速度计悬浮体在外磁场中的磁化过程和所受磁力；其次分析了不同纳米颗粒的制备方法,不同高分子聚合物的特殊性能和纳米颗粒的分散机理；然后根据磁悬浮式加速度计的特殊要求,利用化学共沉淀法制
光学陀螺是基于Sagnac效应的高精度惯性角速度传感器,在传感技术研究中占有重要地位。谐振式微光学陀螺(Resonator Micro Optic Gyro, RMOG)以光波导谐振腔为核心敏感元件,相比于技术较为成熟的干涉式光纤陀螺(Interferometric Fiber Optic Gyro, IFOG)在小型化和集成化方面有其独特的优势。目前陀螺所采用的单路闭环RMOG系统,由于环路延时
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