微陀螺的广泛应用已经给现代生活带来了重大变革,但如何得到高性能的微陀螺一直是研究的热点和难点。本文以本教研室研制的蝶翼式微陀螺为研究对象,提出了一种新的提高灵敏度的方法,主要包括:1.介绍了课题的研究背景,对国内外提高微陀螺灵敏度的常用方法进行了调研,结合教研室前人的工作,给出了本论文的研究意义。2.以蝶翼式微陀螺为研究对象,首次运用了六边形截面斜梁,并简单阐述了陀螺的总体结构和工作原理。深入分析了六边形截面斜梁的力学特性,研究了斜梁结构尺寸与蝶翼式微陀螺两个工作模态频率差值,以及工作模态频率差值与陀螺灵敏度之间的关系,提出了通过合理设计斜梁的尺寸参数来提高灵敏度的方法。3.通过理论分析,得到了不同斜梁尺寸对蝶翼式微陀螺两个工作模态频率差值的影响规律,并最终设计了样机的尺寸。描述了蝶翼式微陀螺样机加工过程中的重要工艺,包括全预埋掩膜工艺和精密激光修形。4.研究了不同误差对蝶翼式微陀螺两个工作模态频率差值的影响,主要包括厚度误差、对准误差和温度误差。最后对样机与原有陀螺的性能进行了对比测试,包括工作模态频率、标度因数和零偏稳定性。实验测试得到的工作模态频差由原来的300Hz左右减小到了45Hz左右;标度因数为18.7 mV/(o/s),提高了约8倍;零偏稳定性由原来的1.64°/h减小为0.85°/h。