脉冲电源单次放电能量决定了加工材料的单个脉冲去除量,极大影响最终的加工质量。微细电火花加工中,减小单次放电能量主要通过减小单次放电脉冲宽度和电流峰值实现。传统微细脉冲电源多为RC式脉冲电源,虽可提供低能量放电脉冲,但存在电能利用率低、加工效率低、充电时间长、放电电流受间隙状态影响大、放电稳定性差等问题,已越来越难以满足微细电火花加工的要求。本文基于微细电火花加工放电间隙特性和电力电子电路拓扑的工作原理,提出两种基于电力电子技术的电火花加工微能脉冲电源:一种为反激式高频分组脉冲电源,主电路采用反激变换器拓扑,输出端无稳压大电容,而采用多组并联小电容,通过电容串联的开关管实现放电控制。加工时,不仅具放电脉宽窄、能量小的优势,而且克服了传统RC式脉冲电源充电速度慢的缺点,在提高表面粗糙度的同时提高了加工效率。且放电形式灵活多样,可自由控制脉冲电压幅值、放电能量以及放电频率;另一种为谐振式超精加工脉冲电源,以谐振电容和高频脉冲变压器为电源主体,电容与变压器原边并联。利用电容与原边电感的固有振荡,提供满足间隙击穿的开路电压。通过控制原边电感存储的能量来控制单次放电加工的最大能量。放电时利用第一个谐振正半周期对间隙进行有效加工,控制了最大放电脉宽,从而实现了超窄脉宽微能放电。本文采用简化的电气模型来等效微细电火花加工间隙,通过仿真与实际波形进行对比验证了间隙模型的准确性。搭建两套新型脉冲电源实验平台,分别进行了分组脉冲放电和谐振式超精加工放电实验,验证了脉冲电源的有效性。