一种集成双稳态微电磁继电器工艺及其性能的研究

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继电器是一种常用的基本机电元件,在航空航天领域、计算机、通讯等领域中起着十分重要的作用。通讯继电器是继电器主要应用方向之一,其产值大约占整个继电器产业的四分之一,并且是继电器产品中技术含量和附加值较高的一部分。在此背景下,本文研制出了一种新型的微电磁驱动器,它由带悬臂梁的镍弹性平台,弹性平台背面的坡莫合金驱动片,带铁芯的平面线圈电磁驱动器。平面线圈由上下两层线圈构成。它的基本工作原理是利用电流在平面线圈中产生的磁场力来实现对镍弹性平台的驱动。在平面线圈的中间和四周电镀有坡莫合金,使平面线圈
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