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由于硅负极材料具有较高的理论容量,是现在商业化的石墨材料的十倍之多,所以被认为是一种极具潜力的商业化高比容量的负极材料,本文制备了硅钛薄膜负极材料,深入的研究制备硅钛薄膜负极材料的工艺以及其电化学性能。为了进一步的将硅钛负极薄膜进行优化,本文通过研究原子比、镀膜溅射功率以及薄膜厚度三个方面来对硅钛薄膜负极材料进行优化。通过用XRD、SEM等手段对材料的硅钛薄膜的微观形貌以及结构进行物理表征,对硅钛薄膜材料的电化学性能表征是通过循环伏安、交流阻抗、循环性能等方法来实现的。本文通过四个方面讨论磁