【摘 要】
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随着纳米技术的发展,作为起重要支撑作用的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动技术为纳米技术的研究提供了基础条件。跨尺度精密运动技术是指具有纳米级运动分辨率的同时,又具有毫米级的运动行程的精密运动技术。根据国内外发展状况,目前代表性的跨尺度精密运动技术主要有:尺蠖型驱动技术、压电超声马达、压电谐波马达、宏微混合驱动技术、粘滑驱动技术、惯性粘滑驱动技术等。其中,惯性粘滑驱动技术以其运动范围大,分辨率高,结构简单
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随着纳米技术的发展,作为起重要支撑作用的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动技术为纳米技术的研究提供了基础条件。跨尺度精密运动技术是指具有纳米级运动分辨率的同时,又具有毫米级的运动行程的精密运动技术。根据国内外发展状况,目前代表性的跨尺度精密运动技术主要有:尺蠖型驱动技术、压电超声马达、压电谐波马达、宏微混合驱动技术、粘滑驱动技术、惯性粘滑驱动技术等。其中,惯性粘滑驱动技术以其运动范围大,分辨率高,结构简单,体积小,集成度高、运动速度快等突出优点,在显微系统(SEM,STM,AFM,TEM)、光学调整、纳米压
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