随着可穿戴电子以及智能化时代的到来,柔性电子器件由于其良好的柔韧性、曲面环境适应性等特性成为新的技术发展需求。金属互连导线和电极作为柔性电子器件的重要组成部分,在柔韧性和可延展性等方面被提出了更高的要求。本文设计了柔性基底上金属导线的三种不同结构,分别为直线型、一级曲线型、二级曲线型结构。通过模拟仿真分析了这三种结构的应力分布情况,发现了各种结构颈缩的位置。为了进一步证实这一结果,我们利用离子束溅射系统,采用间歇沉积工艺制备了柔性基底上的不同结构的金属导线。通过研究表明,直线型结构、一级曲线型结构和二级曲线型结构的金属导线能够承受的最大伸长率分别为2%、23%、24%,且在最大伸长率时,三种结构对应的电阻变化率分别为3.21%,1.54%,4.21%。这表明了曲线型结构的金属导线能够承受更大的拉伸应变,能适用于更大的应变场合。同时我们研究发现,在相同伸长率下,二级曲线型结构的金属导线相比于一级曲线型结构拥有更好的电阻稳定性。这一研究为柔性电子器件的进一步发展提供了实验借鉴。为了进一步探索柔性基底上金属结构在器件中应用的特性,本文设计了柔性叉指电极,其能够在承受反复弯曲应变的同时保持电学性能的基本稳定。基于柔性叉指电极,采用微纳米工艺制备了PLZT柔性能量采集器,获得的开路电压最大可达5.09V,短路电流最大可达54.5nA。相比于基于BCTZ纳米线的“三明治”型能量采集器,具有更佳的电学性能和良好的柔韧性。