超声波电机(Ultrasonic Motor，简称USM)是近二十年来发展起来的一种新原理电机，该电机不同于传统的电磁感应电机，它是利用压电陶瓷的逆压电效应激发超声振动，借助弹性体振谐放大，通过摩擦耦合产生旋转运动或直线运动。电机的显著特点是低转速、大力矩、结构简单、可用于直接驱动、不受电磁干扰、具有断电自锁等功能，因而在微型机械、机器人、精密仪器、家用电器、航天器、汽车等方面显示出广泛的应用前景。而超声波电机由于温度的变化，频率会漂移，研究新型的超声电机的频率自动跟踪电路就具有特别重要的意义。本文以实现对单相驻波型超声波电机的频率自动跟踪为目标，对自振荡驱动电路的原理、设计和实现进行了理论和试验研究。本文的主要研究内容和成果如下：1．综述了超声电机的发展历史、特点和控制方法。2．总结了目前超声电机的频率自动跟踪方法，以及自振荡电路实现的重要意义。3．研究压电振子的等效电路，使超声电机的自振荡驱动有了可行性。4．研究自振荡原理，设计并制作了自振荡驱动电路。5．对试验样机进行扫频、性能测试试验，从试验上验证了自振荡电路具有频率自动跟踪的特点。6．驱动电路有利于超声波电机驱动电源的小型化和集成化。