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纳米科技是二十世纪90年代发展起来的一门新兴学科。扫描探针显微镜(SPM)是纳米科学研究的重要工具。纳米技术的飞速发展，带动了其测量工具SPM的不断发展和创新；同时，SPM的不断创新也促进了纳米科技的研究与发展。本文在研究和探讨SPM的相关技术的基础上，从一种新的角度对双探针扫描隧道显微镜(DP-STM)进行了研究，并取得了一定的成果。全文主要分为以下三个方面：第一，理论上探讨了扫描探针显微镜技术的基本原理和工作方式，探讨了STM和以AFM为基础的SFM的基本理论，在此基础上，分析了现有的一些双探针SPM技术的原理和特点。第二，从理论上分析了STM探针对扫描图像质量的影响，并从公式上对这一影响进行了分析与说明，进而导出通过对扫描隧道谱(STS)中的I(Z)谱的测量与分析可以对针尖的整体质量进行判断的结论，从而提高了对STM探针的使用效率，最后在实验上验证了这一方法，并得到了判断针尖质量好坏的I(Z)谱的具体判断标准，为双探针STM实验提供良好的针尖做好了准备。第三，提出了双探针STM的设计思想，分析了其应用价值。在研究分析了多模式扫描探针显微镜Solver P47的装置结构及STM的电子系统结构的基础上实现了适合于该仪器的双探针STM的改造，并实现了双探针的对准技术，最后测量了对准后的双针尖构成的纳米结构的I(Z)曲线和I(V)曲线，发现了其I(Z)曲线呈类阶梯状分布的特征。