【摘 要】
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在信息时代、物联网的背景之下,新型无线传感器成为重要的研究内容之一。有源的无线传感器需要外部电源和复杂的有源电路,限制了它在很多场合的应用,而无源无线传感器成为传感器的理想选择。声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)类传感器是无源无线传感器的典型代表,它是集“无线应答”与“传感功能”于一身的被动无源器件。若能充分利用SAW器件的“无线应答”特性,实现其它普通传感器的无源无线
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在信息时代、物联网的背景之下,新型无线传感器成为重要的研究内容之一。有源的无线传感器需要外部电源和复杂的有源电路,限制了它在很多场合的应用,而无源无线传感器成为传感器的理想选择。声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)类传感器是无源无线传感器的典型代表,它是集“无线应答”与“传感功能”于一身的被动无源器件。若能充分利用SAW器件的“无线应答”特性,实现其它普通传感器的无源无线测量,将进一步拓展传感器的应用范围。摩擦起电传感器是一类自发电机理的、在柔性传感方面具有诸多优势的传感器,因此,本学位论文利用声表面波谐振器(Surface Acoustic Wave Resonator,SAWR)及其匹配网络作为摩擦起电传感器的应答器,以实现其无源无线传感,这将使摩擦起电传感器的应用范围进一步拓宽。本学位论文的主要研究工作如下:(1)分析了SAWR的基本结构和基本原理,及其等效电路参数的提取方法,并以等效电路为基础建立了SAWR的系统传递函数,利用传递函数分析了SAWR对典型信号的时域响应特性,并利用MATLAB仿真了SAWR对正弦信号的响应特性。(2)在分析典型摩擦起电传感器的基本原理以及常用结构的基础上,设计并制作了具有凹凸外形的中空圆柱型摩擦起电柔性压力传感器。凹凸外形结构及摩擦层自身的弹性使得摩擦层能够有效的自行分离,摩擦层凹凸及粗糙的表面增大了有效接触面积。分析了带负载的摩擦起电传感器电荷转移机理,对设计的传感器的参数进行了测试,测试结果表明:传感器表现出良好的线性度,其灵敏度为2.63V N-1,在15000次重复压力测试下保持稳定的输出。(3)研究用于无线传感器的SAWR的匹配过程,将SAWR转换为等效的RLC串联电路,或者等效的GLC并联电路,分析了T-type网络和Pi-type网络两种低失配匹配网络的原理,利用ADS仿真工具对板级寄生参数进行合理评估,完成SAWR到天线的匹配。推导SAWR谐振频率随匹配网络参数变化的近似表达式,分析比较采用这两种匹配网络的无线传感器的灵敏度和线性度。(4)研究摩擦起电输出电压信号对SAWR响应信号的调制原理,理论推导了响应信号频率与电压的近似数学表达式,利用摩擦起电传感器输入输出量的数学关系,进一步得到了无线传感器的输入压力和输出频率的关系式,并通过实验测得了电压或压力与响应信号谐振频率或幅度的关系曲线。理论分析和实验测试表明:采用T-type网络的无线传感器比Pi-type网络的具有更高的灵敏度。(5)研制了射频收发系统,包括质询器射频前端、数据采集及USB高速传输通道、上位机等,结合所设计的传感器构建无源无线摩擦起电传感系统。设计三个无源无线传感实例,展现所研究的无源无线摩擦起电柔性传感器的应用前景。
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