随着近年来半导体芯片制造、显示屏等高、新技术的发展，真空获得设备得到越来越广泛的应用，已成为生产过程中不可或缺的重要设备，其性能对最终产品的质量有着重要、甚至决定性的影响。因此真空获得设备制造和使用过程中，对其性能参数进行检测、监控，不仅对真空获得设备本身、对使用真空获得设备的工艺过程也具有十分重要的意义。
　　本文采用stm32单片机和PLC技术，在参阅大量相关资料、分析现有装置特点的基础上，构建了智能化的真空泵性能参数采集系统，主要工作包括：
　　(1)根据国内相关测量规范和研究进展，在阐述真空获得设备各性能参数测量原理基础上，提出了性能参数的测量方案，设计了主要硬件电路及相应的软件；
　　(2)成功构建了真空获得设备性能参数智能化检测系统。该系统由stm32单片机数据采集系统和PLC-MCGS人机界面组成，可在单片机tft液晶屏上实时显示性能参数测量数据结果，并在自动化人机界面上输出各个参数的数据曲线和实时抽速曲线等。采集的主要参数有：温度、测试管路压力、真空测试罩压力、电机转速、功率、输出转矩，气体流量，真空泵的实时抽速；
　　(3)用所构建的系统对2台旋片式真空泵进行了实际测试实验。根据测试数据，对比了流量计和滴定管抽速测量方法的各自特点，分析了影响抽速测量结果的因素，得出了一些有价值的实际使用结论。