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金属氚化物由于具有高吸附容量、低平衡压的特点在含氚部件和聚变能源氘氚燃料循环等方面都具有极其重要的作用。但目前对金属氚化物中3He演化规律仍然缺乏系统的、全过程的认识,还不能对金属氚化物的固氦能力从固氦机理上进行有效评估和预测。本论文针对具有不同固氦能力的Ti、Zr、Er三种氚化物体系,综合采用静态3He释放测量、X-射线衍射(XRD)、3He热解析实验等手段对其时效过程进行系统研究,揭示金属氚化物中3He演化的规律,建立Ti、Zr、Er三种典型氚化物的时效演化模型,探讨影响材料固氦性能的关键参数,确定评价金属氚化物固氦能力的特征量,从而评估和预测金属氚化物固氦能力。金属氚化物静态3He释放测量是在无油超高真空测试系统上通过四极质谱计法持续测量其3He释放量。静态3He释放测量曲线是目前评价金属氚化物固氦能力最直接最可靠的手段。通过Ti、Zr、Er三种氚化物的静态3He释放测量,认识了其室温3He释放宏观行为,获得了三种金属氚化物的固氦阈值(fcc氚化锆为0.50-0.53、fcc氚化铒为-0.30、fcc氚化钛为0.25-0.28),发现了初始原子比和双相组成对其固氦阈值的影响。金属氚化物的变温热解析法是在真空条件下对样品进行线性加热,升温过程中采用四极质谱(QMS)对解吸出的气体组分进行在线测量,从而获得反映样品中3He原子的存在状态和演化信息的3He热解吸谱(THDS)。通过对全寿命期内氚化钛中3He的热解吸行为进行研究,获得了3He在金属氚化物中典型的存在状态。在此基础上,选取特征阶段的氚化铒和氚化锆样品开展了THDS对比研究,发现其3He存在状态与氚化钛有所不同。金属氚化物的等温热解析法是在真空条件下利用QMS观测恒温下3He释放量与时间的关系,从而计算3He在材料中的扩散系数和扩散活化能等动力学参数。采用等温热解析技术研究了氚化钛、氚化锆和氚化铒中3He的扩散行为,获得其室温扩散系数,分别为：fct氚化锆((0.04-2.39)×10-20m-2/s)、fcc氚化钛((0.36-1.51)×10-20m-2/s)、fcc氚化铒((0.88-31.39)×10-19m-2/s)。采用XRD对Ti、Zr、Er三种氚化物时效过程的晶体结构变化开展了连续测量,系统研究了晶格常数、半峰宽和线型不对称性随3He/M比的变换规律,结合X射线衍射理论揭示了3He演化导致的晶体缺陷的变化规律,发现三种金属氚化物晶体容纳有限尺寸缺陷的能力从大到小为：fct氚化锆、fcc氚化铒、fcc氚化钛；三种金属氚化物中无限尺寸缺陷(位错、位错网)变化规律与晶面指数(hkl)相关性不同；容纳孪生层错的能力从大到小为：fct氚化锆、fcc氚化铒、fcc氚化钛。同时,探索了相组成对氚化钛和氚化铒时效过程晶格常数变化规律的影响。运用XRD、SEM等手段对现有电阻和电子枪镀膜工艺制备的钛膜显微组织结构开展了研究,并结合相关静态3He释放、时效XRD分析和3He热解析实验的结果,认识了钛膜显微组织结构对其固氦能力的影响,发现具有强烈取向、晶粒尺寸较小、较多缺陷的纤维晶粒将会降低其固氦性能。在此基础上，探索电阻和电子枪镀膜工艺制备的氚化锆的显微组织结构对其固氦能力的影响。通过综合分析静态3He释放、XRD、3He热解析实验的结果,晶体缺陷状态时效过程的变化,参考已有的氦演化机制,建立了Ti、Er、Zr三种金属氚化物全寿命3He时效模型：3He在fcc氚化钛和fct氚化锆中的典型演化过程均可分为6个阶段(3He迁移聚集成团簇、Griffith型3He纳米微裂纹的生长、片状3He泡的生长、球形3He泡的生长、相邻球形3He泡破裂融合和贯通3He泡网络形成),采用球形3He泡应力诱导-阻碍冲出位错环机制结合相邻泡的带状应力破裂机制数值模拟成功评估了其3He加速释放阂值；3He在fcc氚化铒中的演化过程则可分为5个阶段(3He迁移聚集成团簇、Griffith型3He纳米微裂纹的生长、片状3He泡的生长、相邻片状3He泡破裂融合和贯通3He泡网络形成),采用片状3He泡位错偶极子膨胀机制结合相邻片状3He泡带状应力破裂机制数值模拟成功评估了其3He加速释放阂值。对比分析三种金属氚化物3He演化行为的异同,获得了评估Ti、Zr、Er氚化物固氦能力的特征指标——晶胞体积变化发生转折时3He/M。并结合钛基氚化物体系的实验研究结果,对所提出的评价材料固氦性能特征量进行了验证。在所建立的3He时效模型基础上,揭示了影响金属氚化物固氦性能的主要特征参量：3He泡密度和力学性能(杨氏模量、剪切模量、破裂强度),建立了3He泡密度和力学性能与其固氦性能间的关系,确定了Ti、Er、Zr三种金属氚化物固氦性能的理论上限,提出了提高其固氦性能的基本思路：一是控制其形核阶段改变其3He泡密度,即降低fcc氚化钛和fct氚化锆中3He泡密度,增加fcc氚化铒中3He泡密度；二是提高金属氚化物的力学性能。通过上述工作的开展,使我们对金属氚化物中的3He行为有了系统认识,揭示了其中3He泡的演化规律,建立了Ti、Er、Zr三种金属氚化物全寿命的3He时效模型,认识了影响金属氚化物固氦性能的主要特征参量,获得了评估金属氚化物固氦能力的特征指标,提出了提高金属氚化物固氦性能的基本思路,可用于指导相关金属氚化物的研究与应用。