电子-分子反应是化学物理和分子物理方向研究的主要内容之一，一般情况下低能的入射电子与靶分子碰撞时会发生电子贴附解离(DEA)，从而产生负离子碎片和中性粒子碎片。我们通过测量负离子碎片的截面、动能分布和角分布等方面的信息可以反映解离的动力学过程。本文介绍了余摆线单色器的原理及进一步的设计工作、高分辨负离子质谱的设计和低能电子贴附解离NF3的动力学实验。　　 第二章介绍了提高电子枪的能量分辨率的余摆线单色器原理，接着介绍了我们余摆线单色器的设计过程以及参数。我们还设计了高分辨的负离子飞行时间质谱，同样我们介绍了飞行时间质谱的原理，然后我们详细介绍了飞行时间质谱的设计过程以及各方面参数。　　 在入射电子能量在0.5-4.5eV时，我们用负离子速度成像装置研究了低能电子贴附解离NF3动力学。通过分析碎片F-离子的动能和角度分布，我们发现在高能量时，NF3-可以通过两种不同通道解离，分别是两体解离和三体解离。经过我们的分析得出:各向异性、快的F-离子是通过两体解离产生的，慢的F-离子是通过三体解离产生的(NF(X3Σ-)+F+F-，NF(b1∑+)+F+ F-和N+ F2+ F-)，而且随着能量的变化，三体解离通道也发生了变化。