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本文通过传统的固相烧结法制备了一系列可低温烧结的微波介质陶瓷BaMV2O7(M=Mg,Zn)、LiMVO4(M=Mg,Zn)、Li2M2W3O12(M=Mg,Zn)和Li2W2O7,对其进行了系统的结构、显微结构和微波介电性能的分析,研究了性能与结构之间的关系,并初步探讨了这些材料作为LTCC基质候选材料的应用可能。(1)在BaMV2O7(M=Mg,Zn)体系中,通过固相合成法制备了BaMgV2O7和BaZnV2O7陶瓷材料。其中,830oC温度烧结时BaMgV2O7陶瓷最致密,并获得εr~8.2,Q×f~37600 GHz,τf~-35.2 ppm/oC的优越微波介电性能;与BaMgV2O7相比,BaZnV2O7陶瓷具有更低最佳烧结温度(720 oC)和高的相对密度(95.6%)。同时,在720oC烧结可获得εr~10.7,Q×f~31000 GHz,τf~-64.4 ppm/oC的良好微波介电性能。(2)高相对密度和优越微波介电性能的LiMVO4(M=Mg,Zn)陶瓷可以在720oC烧结获得:LiMgVO4,96.6%,εr为9.89,Q×f值为30800 GHz,τf值为-181ppm/oC;Li ZnVO4,94.9%,εr为7.15,Q×f值为17600 GHz,τf值为-114 ppm/oC。(3)Li2Mg2W3O12陶瓷在720 oC温度烧结时具有:εr为8.36,Q×f值为56700 GHz,τf值为-72.8 ppm/oC的最佳微波介电性能。低的烧结温度和良好的微波介电性能使Li2Mg2W3O12陶瓷非常有希望成为无线通信系统中的LTCC基质候选材料。(4)Li2W2O7陶瓷主要受到密度和第二相影响其微波介电性能。低介电常数,高Q×f值的Li2W2O7陶瓷可以通过添加TiO2的方法来调节使负的τf值趋于零。Li2W2O7陶瓷在最佳烧结温度680 oC烧结时,可获得εr为12.15,Q×f值为17700GHz,τf值为-232 ppm/oC的良好微波介电性能。