太赫兹波是指频率在100GHz到10THz之间的电磁波。这一段电磁频谱处于传统电子学和光子学研究频段之间的特殊位置,过去对其研究以及开发利用都相对较少。随着无线通信的高速发展,现有的频谱资源已变得日益匮乏,开发无线通信的新频段已逐渐成为解决此矛盾的一种共识,而在太赫兹频段存在大量未被开发的频谱资源,使得太赫兹频率适于作为未来无线通信的新频段。在众多技术途径中,采用固态电子学的技术途径实现无线通信系统,未来存在将系统进行片上集成的可能,这对太赫兹无线通信系统走向实用化具有重要意义。本文研究围绕固态太赫兹高速无线通信技术展开,以无线通信系统的实现为牵引,对构成太赫兹无线系统的两种关键电路(分谐波混频器和二倍频器)进行了深入研究,基于关键电路的突破,构建了太赫兹无线通信系统并成功进行了高速无线数据传输实验。本文主要内容包括以下三个方面:(1)太赫兹频段分谐波混频技术。分谐波混频器在无线系统中实现频率变换的功能,在缺乏固态放大器的太赫兹频段,这个关键电路的指标直接关系到系统的整体性能。本文研究从肖特基势垒二极管的物理机理入手,对混频二极管的等效电路模型、噪声模型和三维电磁模型的建模方法进行了深入的理论研究,分析了二极管参数和封装寄生参数对混频性能的影响,并提出了一种基于器件三维电磁模型提取反向并联二极管对寄生电容的方法。为提高电路优化效率,本文提出了一种电路优化方法,该方法的基本思想是,首先找到非线性器件的最优工作状态,以及使器件达到最优工作状态所需的阻抗条件,以满足阻抗条件为目标,通过S参数优化匹配,在匹配网络确定后,再结合器件非线性模型完成电路优化。应用该方法,本文对220GHz分谐波混频器电路进行了优化,在仿真噪声性能时,提出了一种引入外加噪声源来等效热电子噪声的方法。本文构建实验平台开展了实验研究,实验结果表明,该混频器在188-244GHz频带内,双边带等效噪声温度小于1500K,双边带变频损耗小于10dB,实验结果与仿真预测吻合较好,验证了二极管建模以及电路优化方法的有效性。(2)太赫兹频段二倍频技术。频率倍增是产生太赫兹频率信号的一种重要技术途径,二倍频器是组成固态太赫兹信号源的关键电路之一。从变容二极管工作机理入手,本文通过深入的理论研究,基于理论推导,讨论了变容二极管参数对二倍频性能的影响,分析了设计变容二极管时需要考虑的主要参数。针对190GHz和180GHz两个二倍频器的特定电路性能要求,本文建立了变容二极管倍频性能分析模型,定量分析了变容二极管参数对倍频性能的影响,设计了两个二倍频器的变容二极管,并完成了二极管流片。利用本文提出的电路优化方法对二倍频器进行了优化,并构建实验平台开展了实验研究。实验结果表明,190GHz二倍频器输出频带为190-198GHz,最大可承受350mW的输入功率;当输入功率为200mW时,在193GHz处获得最大倍频效率8%,输出功率达到16mW;在该频点处当输入功率为350mW时,输出功率为24.12mW,倍频效率为6.89%。180GHz二倍频器在输出频率为173-184GHz的频带内,当输入功率为100mW时,倍频效率大于10%,在183GHz处获得最大倍频效率15.5%;在该频点处当输入功率为200mW时,输出功率为24.17mW,倍频效率为12.1%。实验结果与仿真预测吻合较好,验证了变容二极管建模、器件设计以及电路优化方法的有效性。(3)太赫兹高速无线通信技术。在关键电路研究取得突破的基础上,本文开展了太赫兹无线通信技术研究,构建了 120GHz无线通信原理验证系统和220GHz实验验证系统。120GHz原理验证系统实现了码速率高达12.5Gbit/s的无线数据传输,验证了太赫兹波应用于无线通信的带宽优势。220GHz实验验证系统在室外200m的通信距离上,实现了码速率为3.52Gbit/s的高速无线数据传输,传输误码率为 1.92×10-6。通过本文的研究,展现出太赫兹波用于高速无线通信的巨大潜力,也验证了太赫兹无线通信未来走向实际应用的可行性,为未来开发太赫兹频率资源作为新的无线通信频段奠定了重要的理论和技术基础。