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MEMS（微机电系统）器件以其体积小、多功能、成本低和功耗低等特点，在民用和军用领域得到广泛应用，在RF MEMS（射频微机电）领域，MEMS移相器具有隔离度好、插入损耗低、控制电路耗能低和工作频带宽等众多优势，很好地弥补了传统移相器的不足，但是目前国内对MEMS移相器的研究还不够成熟，因此，本文在分别总结了RF MEMS和MEMS移相器的国内外发展动态以及其在相控阵雷达中的应用状况的基础上，设计了一款Ka波段分布式MEMS传输线移相器，并对结构参数进行优化，使其综合电性能达到最优，进一步分析了该移