基于MEMS技术的微型继电器的研究

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该文对微型继电器的相关理论及制作工艺进行了研究.该文第一章通过对微机械研究状况的问题,结合微加工方面的基本理论(微结构的尺寸效应、微结构的频率特性等),提出了微型继电器设计和制造总体思路.第二章以静电型继电器简化结构为分析对象,详细分析了在静电力驱动下活动电极的三种变形规律(与静触点的无接触、点接触和部分面接触).第三章对静电型微继电器的制作工艺进行了详细的阐述,其中对制作中的关键技术即:聚酰亚胺光刻技术、亚胺化条件、多层金属的选择性腐蚀技术等进行了研究.第四章对电磁型微继电器的工作原理、制作工艺进行了探讨性研究,同时对上部活动电极在电磁力作用下的运动进行了ANSYS仿真并对结论进行了解释.第五章简单介绍了目前流行使用的有限元分析(FEA)软件,并基于该软件的仿真结果对静电型微继电器活动电极材料进行了的优化选择.
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