妥善处理四氯化硅是提高国内多晶硅生产能力、实现光伏产业可持续发展而必须解决的迫切问题。硅和四氯化硅耦合加氢反应制备三氯氢硅是目前处理SiCl₄,实现SiCl₄循环再利用的比较有效的方法。本文研究了硅和四氯化硅耦合加氢反应制备三氯氢硅的热力学研究,基于Gibbs最小自由能原理,通过化学平衡产物组成分布的分析,确定了反应体系的主要产物SiHCl₃, SiH₂Cl₂, HCl,并构造了三个相反应的独立反应,讨论了对应的反应热、自由能和平衡常数与温度的关系。计算所采用的温度范围为673～973K,压力为1～20atm,原料配比H₂/SiCl₄为1～5。结果表明,生成SiHCl₃和SiH₂Cl₂的反应体系随着温度的升高,SiCl₄平衡转化率及SiHCl₃产率降低;高压和适中的原料配比H₂/SiCl₄有利于SiCl₄转化率及SiHCl₃产率的提高。本文还通过实验探究了反应温度、体系压力和H₂/SiCl₄进料比及反应所用金属催化剂对反应结果的影响。实验所采用的温度范围为673～973K,压力为1～20atm,原料配比H₂/SiCl₄为1～5。结果表明,生产随着温度升高,SiCl₄平衡转化率及SiHCl₃产率降低;高压和适中的H₂/SiCl₄原料配比有利于SiCl₄转化率及SiHCl₃产率的提高;使用金属铜为催化剂获得的SiCl₄转化率和SiHCl₃产率最高。