全水溶液法制备高性能In2O3薄膜晶体管及其在逻辑器件中的应用

来源 :安徽大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rylqy

【摘要】

：

金属氧化物半导体作为薄膜晶体管(TFT)的优良沟道材料,在液晶显示器(LCD),有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)以及其他新兴的电子应用领域(如互补型金属氧化物半导体(CMOS)和逻辑门器件)有重要的应用。与传统的硅基薄膜晶体管相比,金属氧化物薄膜晶体管由于其高迁移率,低温合成工艺,良好的稳定性和高光学透射率等优异的性能而被广泛研究。本论文基于节约成本,环境友好型的发展战略,采用了无毒,环境友

【作者】

：

朱力

【出处】

：

安徽大学

【发表日期】

：

2019年07期

【关键词】

：

金属氧化物薄膜晶体管介电薄膜溶液法低功耗反相器

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