自从三洋公司开发出HIT太阳电池以来，由于其制备工艺简单、性能良好、转换效率高等优点受到国际光伏领域的重视，一直以来都成为了一大研究热点。HIT太阳电池结合了单晶硅和非晶硅的优势，因此单晶硅自身的处理、非晶硅的制备、以及各个界面的处理优化等都是HIT太阳电池需要解决的关键问题。　　 本文根据HIT电池中单晶硅的处理，主要进行了以下的研究:　　 第一，研究了单晶硅的制绒。本文中研究了NaOH溶液中浓度、异丙醇(IPA)的掺入量等参数对制绒效果的影响，结果表明一般NaOH的质量分数不能高于2％，太低则反应速度慢，IPA的浓度范围为100mL/L～140mL/L。此外对比了Ca(OH)2、Na2SiO3、Na2CO3、NaHCO3、CH3COONa等几种常见碱性溶液对单晶硅的制绒效果，分析其制绒的机理，其中Na2SiO3溶液的效果比较理想。单晶硅的初始状态对制绒效果也有一定的影响，一般单晶硅在制绒前越平整则制绒出的金字塔越均匀。根据对制绒过程的分析，给出了单晶硅织构的优化处理并提出了织构率的概念，讨论了织构率与反射率的关系，由表面形貌可以得出织构率，并可由此粗略估算平均反射率。　　 第二，从理论上详细计算了单晶硅的反射率。首先推导了自然光入射到单晶硅表面时的反射率计算公式，通过对单晶硅绒面的金字塔形貌特征的分析，初步计算了单晶硅绒面的反射率并和实际测量结果进行了对比，讨论了金字塔的倾角等参数与反射率之间的关系;对抛光面的反射率也进行了分析。另外提出了单晶硅的表面反射率和体反射率的概念，分析了二者间的关系，并指出了常见的文献中存在对表面反射率和体反射率相混淆的问题。　　 第三，用PECVD沉积非晶硅钝化单晶硅。讨论了用PECVD沉积非晶硅钝化单晶硅的原理，通过对钝化后少子寿命的测量，分析了不同沉积参数对制备非晶硅的影响，以及对单晶硅钝化结果的影响。　　 第四，讨论了单晶硅和铝电极接触的问题。分析了欧姆接触的原理，简单讨论了单晶硅与铝电极进行欧姆接触的制备要求。