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基于神光Ⅱ物理实验，研究了X射线分幅相机中真空弧放电对荧光屏和微通道板的损害．通过观测放电点在荧光屏上的位置和输出强度，发现X射线分幅相机存在的3种弧放电形式：散弧、强弧和定弧，由弧点位置和强度的时空变化比较了3种放电形式对器件的损害程度和对相机工作状态的影响．散弧在一定真空度条件下具有很好的稳定性，并且微放电不影响XFC正常性能；强弧的屏输出强饱和，MCP和荧光屏被一次性损害，相机无法正常工作；