外延生长6H-SiC／Si薄膜的微结构研究

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：G715893600

【摘要】

：

采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过APCVD工艺在Si(100)衬底上进行SiC薄膜生长时,严格控制缓冲层生长的工艺条件,即1 300°C碳化温度较高的C3H8饱和浓度,可以获得结晶质

【作者】

：

贾护军杨银堂柴常春李跃进

【机构】

：

西安电子科技大学微电子研究所

【出处】

：

固体电子学研究与进展

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

外延生长 6H-SiC/Si薄膜微结构 6H碳化硅薄膜化学气相淀积 HSiC thinfilms APCVD microstructure

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过APCVD工艺在Si(100)衬底上进行SiC薄膜生长时,严格控制缓冲层生长的工艺条件,即1 300°C碳化温度较高的C3H8饱和浓度,可以获得结晶质量良好的6H-SiC单晶外延层.利用SEM、X射线衍射能谱(XRD)及光致发光谱(PL)分析了薄膜微结构并讨论了其微观机制.

其他文献

智能化小区的构成及功能

所谓的智能化小区，就是将在一定区域范围内多个具有相同或不同功能的建筑物（主要指住宅小区）按照统筹兼顾的方法分别对其功能进行智能化，资源充分共享，统一管理，在提供安全、舒适、

期刊

智能化小区统一管理可持续发展住宅小区区域范围大中城市建筑物

“乳化焦浆／油”：环保节能的新曙光

广州迪森热能技术股份有限公司利用工业副产品和废料，生产清洁燃料，正逐渐成为环保节能的新焦点。他们将石油提炼的最终副产品“石油渣”作为母料，加入工业废料、添加剂等经乳化

期刊

环保节能乳化工艺工业副产品清洁燃料工业废料替代燃料油添加剂油渣

外资金融机构对中国国有商业银行收购定价的博弈分析

研究表明，当商业银行经营状况好，无论是否具有高的附加价值，在知道外资金融机构的收购概率时，商业银行的最优选择应以高价售股。当商业银行经营状况差，但附加价值高，并且清楚知道外

期刊

股权收购博弈论股权溢价附加价值外资金融机构中国国有商业银行收购定价Equity Acquisition Game Theory Equity

摆动式燃烧器摆动角度灵活性存在问题和改进方案

主要论述摆动式燃烧器在制造中出现的摆动角度不到位、不灵活和卡死等疑难问题，并详细分析造成此问题产生的具体原因，同时制定工艺方案，提出工艺改进，采取相应措施，彻底消除由于摆

期刊

摆动角度影响要素工艺方案改进措施效果分析vividing angle main factor technology scheme solut

小型水电站的压力钢管设计和经济效益计算分析

压力钢管的设计是小型水电站设计的重要内容，以往设计人员根据经验确定的压力钢管直径往往达不到最理想的经济直径和经济效益，本文针对此问题结合实例进行了探讨。

期刊

压力钢管设计直径收益

信托财产公示制度的效力模式探析

信托财产公示制度的效力模式大致分为公示要件主义和公示对抗主义。两种模式下信托财产公示将产生不同的法律效果。对两种模式下相关决策者承担成本的差异进行微观层面的探析

期刊

信托财产公示效力挫折成本外部成本Effectiveness of Trust Property Public Notice Frustration Co

美国次级住房抵押贷款危机的原因及影响

需求大于供给导致美国次级住房抵押贷款快速增长，“贷款--分散”模式链条上各主体的收益激励结构和次级贷款品种设计导致的次级债市场扭曲繁荣，进而导致次级债危机。次级债危机

期刊

次级住房抵押贷款“贷款--分散”模式分档设计Subprime Mortgage Originate-to-Distribution Model MBS

外延生长6H-SiC／Si薄膜的微结构研究

与本文相关的学术论文