Halbach磁阵列在微细加工平台中的应用研究

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介绍了一种新型Halbach永磁阵列的基本形式、特点及其在微细加工平台中的应用,并利用ANSYS对该微细加工平台中的Halbach永磁体阵列的最佳结构及特点进行了仿真分析。说明该平台具有单边磁势、气隙磁密大、效率高的特点。
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