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采用光声室和压电陶瓷两种检测方式,研究了不同厚度的单晶硅表面光洁度变化对光声信号的影响。结果表明,样品越薄,随着样品表面光洁度变差,光声信号增加得越迅速。
不同厚度样品的表面光洁度对光声信号的影响
【摘 要】
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采用光声室和压电陶瓷两种检测方式,研究了不同厚度的单晶硅表面光洁度变化对光声信号的影响。结果表明,样品越薄,随着样品表面光洁度变差,光声信号增加得越迅速。
【机 构】
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南开大学物理系,南开大学物理系天津,天津,天津
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1990年5期
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