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超声-重力耦合场分离设备的设计与制造
超声-重力耦合场分离设备的设计与制造
来源 :长春工程学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:cmxhjjcz
【摘 要】
:
利用超声-重力耦合场分离原理,设计并制造了一种分离微纳米颗粒的场流分离设备。通过对分离腔中流体层的声场和颗粒受力特性进行研究,确定分离设备的制作工艺,对基片的雕刻过程
【作 者】
:
尹海燕
刘大为
孟艳平
【机 构】
:
长春工程学院机电工程学院
【出 处】
:
长春工程学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2013年3期
【关键词】
:
超声-重力耦合场
微纳米颗粒
雕刻
键合
ultrasound-gravity field
micro nano-particles
engraving
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利用超声-重力耦合场分离原理,设计并制造了一种分离微纳米颗粒的场流分离设备。通过对分离腔中流体层的声场和颗粒受力特性进行研究,确定分离设备的制作工艺,对基片的雕刻过程和键合过程的加工参数进行了优化,并对超声分离微纳米颗粒的发展方向进行了展望。
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