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1994年7月25日，国际光学工程学会在美国加州圣地亚哥召开了第二次“集成光学和微结构”学术交流会。加里福尼亚大学洛杉矶分校电子工程系的M．C．Wu等人报道了他们首次用表面微机械加工方法制造微光学系统的新颖技术。采用单片集成方式，把自由空间光学元件与微定位器和微执行器件集成在一块硅片上，成功地制造了由菲涅耳透镜、反射镜、分束器、光栅、精密安装机构和旋转台及微定位器集成的光学系统。