论文部分内容阅读
事件: 继硅(S i)引导的第一代半导体和砷化镓(G a A s)引导的第二代半导体后,以碳化硅(S i C)、氮化镓(G a N)、氧化锌(Z n O)、金刚石、氮化铝(A l N)为代表的第三代半导体材料闪亮登场并已逐步发展壮大。与第一、二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有更宽的禁带宽度,高的击穿电场、高的热导率、高的电子饱和速率和更高的抗辐射能力,因而更适合制作高温、高频、抗辐射及大功率器件。此外,第三代半导体材料由于具有发光效率高、频率高等特点,因而在一些蓝、绿、紫光的发光二极管、半导体激光器等方面有着广泛的应用。从目前第三代半导体材料和器件的研究来看,较为成熟的是碳化硅SiC和GaN半导体材料,而ZnO、金刚石和AlN等宽禁带半导体材料的研究尚属起步阶段。