一种高性能2.0um BiCMOS工艺

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianming2001

【摘要】

：

本文介绍一种高性能2.0umBiCNIOS工艺.该工艺采用P型衬底,N型P型双埋层,N型薄外延结构,掺杂多晶作为CMOS晶体管栅极和双极晶体管的发射极.CMOS晶体管源漏自对准结构,钛和铝双

【作者】

：

周均袁博鲁叶青松

【机构】

：

电子工业部第二十四所,电子工业部第二十四所,电子工业部第二十四所四川重庆,630060,四川重庆,630060,四川重庆,630060

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

1997年01期

【关键词】

：

BiCMOS 自对准多晶硅发射极环型振荡器

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文介绍一种高性能2.0umBiCNIOS工艺.该工艺采用P型衬底,N型P型双埋层,N型薄外延结构,掺杂多晶作为CMOS晶体管栅极和双极晶体管的发射极.CMOS晶体管源漏自对准结构,钛和铝双层金属作为元件互连和PECVDSiNx介质作为钝化薄膜.用该工艺研制的23级与非门环型振荡器单级门延迟时间达3ns.

其他文献

粒状头样2在肺纤维化上皮间质转化中的作用研究

目的:探讨粒状头样2（grainyheas-like2,GRHL2）在肺纤维化上皮间质转化（epithelial-mesenchymal transition,EMT）中的作用研究。方法:45只大鼠随机分为正常对照组,模型组及丙戊酸

期刊

粒状头样2(GRHL2)丙戊酸钠肺纤维化大鼠上皮间质转化(EMT)Wnt/β-catenin信号通路

计算机人工智能技术研究进展与应用分析

从人工智能的前景来看,特别是在提出人工智能之后,计算机技术的水平和能力得到进一步提高,社会生产和发展仍有巨大的发展潜力.随着时间的推移,中国科技与西方国家之间的差距

期刊

研究进展应用分析人工智能

“大井法”在矿坑涌水量预测中的应用——以郎溪钒矿区为例

矿井涌水量预测是矿床水文地质勘查的根本任务之一,"大井法"在预测矿井涌水量方面因其简单方便的特点而成为常用方法之一。通过"大井法"在具体工程实例中的应用分析,提出其在

期刊

“大井法”矿坑涌水量预测郎溪钒矿

念慈庵蜜炼川贝枇杷膏药理作用研究

结果表明京都念慈庵蜜炼川贝枇杷膏具有明显的镇咳和祛痰作用，体内和体外实验证明也具有明显的平喘作用，对四种不同的急慢性炎症模型均有明显的抗炎作用。

期刊

念慈庵蜜炼川贝枇杷膏镇咳祛痰平喘抗炎

网络选秀再掀娱乐营销风潮

<正>一场接一场的选秀活动,从电视延伸至网络,不断刺激着大众的视觉神经。前不久,互联网观察中心WeaMAX针对我国沸沸扬扬的网络选秀活动进行了一次网民调查。涉及的问题有网

期刊

娱乐营销互动性

石英坩埚内高纯隔离层在高效多晶硅铸锭中的应用

多晶硅铸锭过程中,石英坩埚侧壁中的杂质通过固相扩散进入并残留在多晶硅锭的边部,形成多晶硅锭边部的低少子寿命区(边部红区)。本文通过在坩埚侧壁上制作三种不同成分的高纯

期刊

高效多晶硅隔离层红区

制造企业质量管理要素及竞争力分析

质量管理是制造企业在市场竞争中的决定性因素,而影响质量管理水平的因素很多,如何确定关键因素并采取相应的改进措施是提升质量管理水平的难点之一。为此,作者拟定了制造业

期刊

制造企业质量管理评价指标体系因子分析

利率市场化对政策性银行融资模式的影响及对策研究

利率市场化对政策性银行以金融债为主要融资渠道的模式产生了巨大的影响。一方面,利率市场化推高了商业银行的资金成本,使之对政策性金融债投资要求的回报率升高。同时,利率

期刊

利率市场化金融脱媒政策性银行

公共负担平等原则的具体化——论特别财产限制的补偿

本来意义上的公共负担源于社会契约论,直至近现代为财产权利的社会责任理论所正当化。不过,提出财产权利社会责任理念的国家福利主义者并不反对对公共负担予以必要的限制与防

期刊

公共负担平等特别财产限制的补偿

中条山铜矿研究新进展

中条山铜矿研究新进展叶德隆，朱勤文（中国地质大学，武汉，４３００７４）山西中条山铜矿区是重要的铜资源基地，主要铜矿类型有横岭关型、铜矿峪型和胡－篦型。其中分布于垣曲和闻喜县境内胡家峪－篦子

期刊

中条山铜矿矿源岩成矿物质中国地质大学铜矿床岩浆期后热液研究新进展

一种高性能2.0um BiCMOS工艺

其他学术论文