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针对深亚微米技术，提出了差分静态电流技术和动态电流技术相结合的方法对CMOS SRAM存储单元进行故障诊断，针对该方法改进了0—1算法。改进的0—1算法与传统的March算法相比，明显降低了测试开销。以四单元存储器为诊断实例，针对桥接故障、开路故障与耦合故障，实现了100％故障诊断覆盖率。实验结果证明了新方法具有故障覆盖率高的特点，能够诊断传统逻辑测试法难以探测的部分故障。