溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜光学常数的影响

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研究了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数与波长关系的影响。结果表明,在波长小于500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数k则逐渐减小;在波长大于500nm的情况下,随溅射功率的增加折射率n逐渐减少,消光系数k先减小后增加。对于晶态薄膜样品,在整个波长范围折射率n随溅射功率的增加减小后增加,消光系数k则逐渐减少。薄膜样品的光学常数,在长波长范围随波长变化较大,在短波长范围变化较小。讨论了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数影响的机理。
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