Application of 2-D Position Sensitive Detector in Spatial Straightness Measurement of Guide Rails

来源 :天津大学学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f_m_q
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A laser collimating system based on 2-D position sensitive detector (PSD) is presented in this paper. The working principle of PSD is depicted in detail. A calibration device was developed to check the nonlinearity errors of PSD and a multilayer feedforwa
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