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类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说.
类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备技术与各种特性
【摘 要】
：
类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说.
【机 构】
：
日本
【出 处】
：
珠宝科技
【发表日期】
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2004年6期
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