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传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区，这种工艺热预算较高，使得工艺复杂程度和生产成本较高，基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管。使用V形槽工艺，用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管的栅极区，简化了工艺流程，使器件在调试过程中具有很大灵活性。使用PECVD（等离子体增强化学气相淀积）工艺，解决了槽栅结构静电感应晶体管的栅极区与源极区容易短路的问题。给出了详细的工艺流程。