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为了对驻极体微电机的转子进行静电场的受力分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了静电场的有限元分析.作为实例,选择一种尺寸的扁平驻极体微电机,分析电机转子在静电场中受到的旋转驱动力,其结果同理论值基本一致.
扁平驻极体微电机的静电场分析
【摘 要】
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为了对驻极体微电机的转子进行静电场的受力分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了静电场的有限元分析.作为实例,选择一种尺寸的扁平驻极体微电机,分析电机转子在静电
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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