【摘 要】
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采用真空气相沉积法,使用两种蒸发源制备纳米ZnO薄膜.用XRD(X射线衍射)进行测试并进行其结构特性分析.研究发现,蒸发源为分析纯Zn粉末时,蒸发可获得纳米Zn薄膜,薄膜在氧气气
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采用真空气相沉积法,使用两种蒸发源制备纳米ZnO薄膜.用XRD(X射线衍射)进行测试并进行其结构特性分析.研究发现,蒸发源为分析纯Zn粉末时,蒸发可获得纳米Zn薄膜,薄膜在氧气气氛下同时进行氧化及热处理.实验发现,当温度高于400℃,得到沿c轴择优取向的纳米ZnO薄膜.蒸发源为分析纯ZnO粉末时,采用钼舟加热,高温下ZnO与钼舟发生反应,使部分ZnO还原为Zn,因此这种方法不适合纳米ZnO薄膜的制备.
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