接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

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分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量 ,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。 The measurement uncertainty of a laser interferometer used to measure the mass is analyzed. The effects of interference signal quality, air refractive index and material thermal expansion on the measurement uncertainty are mainly introduced.
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