【摘 要】
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本文主要介绍涂层烘干温度群控系统的软件实现方法和软件特点。系统为主从式集散结构,用1台主机控制7台从机,可以同时完成7个烘干炉的温度控制工作。在主体管理程度和过程控制程序
【机 构】
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航天工业总公司西安微电子技术研究所
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本文主要介绍涂层烘干温度群控系统的软件实现方法和软件特点。系统为主从式集散结构,用1台主机控制7台从机,可以同时完成7个烘干炉的温度控制工作。在主体管理程度和过程控制程序上建立了较多的操作管理功能和较强的通讯手段,并介绍了提高系统精度和可靠性的一系列软件抗干扰措施。
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