【摘 要】
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为了获得良好的筛选效果,剔除早期失效产品,通过对LDMOS功率器件的失效情况进行调研分析,设计了LDMOS功率器件的筛选方案。主要研究了LDMOS功率器件失效模式和失效机理之间的
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为了获得良好的筛选效果,剔除早期失效产品,通过对LDMOS功率器件的失效情况进行调研分析,设计了LDMOS功率器件的筛选方案。主要研究了LDMOS功率器件失效模式和失效机理之间的对应关系、失效机理与试验项目之间的关系。选取可覆盖全部失效模式的试验项目,并根据各试验项目的特性和作用对其进行排序,形成合理有效的LDMOS功率器件可靠性筛选方案。选用100只某型号LDMOS功率器件按照此方案进行筛选,并对失效产品进行失效分析,验证了方案的有效性。
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