论文部分内容阅读
通过对Pirani真空变送器的测量和校;包分析Pirani真空变送器输出信号和真空度之间的函数关系。由输出信号示值误差与真空度示值相对误差之间的关系,建立Pirani真空变送器的校准装置,并对某类型的Pirani真空变送器进行了测量,测量结果扩展不确定度U=0.046V(k=2),对应于真空度示值相对误差δ不大于±10%。