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基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Play_pig

【作 者】

：

苗静  何常德  廉德钦  张慧  于佳琪  宛克敬  薛晨阳 

【出 处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2012年12期

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