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针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的"拉线"现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。
基于跳变线估测的相位包裹去除法
【摘 要】
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针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的"拉线"现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2003年07期
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